Nanoscribe,现在是BICO公司这是一种新的超精密3D微制造系统,可用于快速成型和晶片规模的批量生产。有了量子X的形状,高精度3D打印在打印6英寸大小的晶片方面效率显著提高。这种效率的提高对于生命科学、材料工程、微流体、微光学、微观力学和微电子机械系统(MEMS)等研究实验室和工业制造过程尤其重要。
与量子X,第一个双光子灰度光刻(2GL)系统,该产品于2019年推出,专门用于表面图形,新的量子X形状提供了改进的超精确3D微制造能力。Quantum X形状可以实现高精度的增材制造,在精度和速度可以达到最佳平衡,以实现最必威手机注册高水平的生产率和质量。经过业界验证的Quantum X平台提供了从纳米到介尺度结构的最先进的微制造工艺,适用于晶圆级批量加工。
“凭借量子X的形状,Nanoscribe正在为科学和工业用途的晶圆级高精度微制造设定新的标准,”Nanoscribe的联合创始人兼首席科学官Michael Thiel博士说。“虽然量子X已经推动平超高速加工的微光学通过双光子灰度光刻,我们预计量子X形状进行高精度3 d打印技术基于双光子聚合快速原型的一个无与伦比的高效、可靠的工具,在研究实验室和工业批量生产。”
3D微细加工精度最高
基于双光子聚合(2PP),一种增材制造方法,提供最高的精度和完整的设计自由度,直接激光书写必威手机注册系统是2.5D和3D物体的微加工的最佳选择,亚微米精度的面积可达25厘米²。
量子X形状资格作为用于与特征尺寸控制下降到在纳米和微米级打印的所有空间方向上的100个纳米对象的超精密三维微细加工最好在类系统中,具有用于尺度的能力打印最大50毫米对象的大小。机器优化以增加输出的精度和速度之间的相互作用。这是一个国家的最先进的系统振镜和智能电子系统控制单元基于花岗岩坚固平台具有工业级组合上的结果脉冲飞秒激光。
该系统的特点是加速和减速电流计镜单元的最佳扫描速度和动态在1 MHz的调制速率调整激光功率的先进激光焦点轨迹控制。
新的量子X形状配备了一个独特的自动界面探测器,可以探测衬底表面,精度可达30纳米。这种无与伦比的纳米级精度在最高的扫描速度,加上自我校准程序,结果在最短的时间内可靠和准确的打印。
简单的工作流
作为一个具有自动光树脂点胶功能的直立系统,该打印机是工业批量处理高达6英寸标准晶圆的最佳设备。远程访问软件nanoConnectX将触摸屏的所有功能和显示选项带到了系统用户的计算机上,这样用户就可以在任何地方启动、监控和控制连接打印机的打印作业。
这减少了在实验室中的最小准备时间和共享系统时显著简化组协作。
“此次推出的量子X形状的演示高精度的3D打印为许多应用领域,特别是对于要求苛刻的生命科学应用的创新潜力,” CEO和BICO联合创始人埃里克·Gatenholm说。“Nanoscribe在3D微制造的新标准,以发现未来的技术,我不能骄傲,让他们为我们的团队在BICO的一部分。”